무제 문서
무제 문서
 
온/습도 변환기
반도체공정용열전대 표준백금저항온도계 일반산업용저항온도계 t/c wafer 절연관,보호관 열전대 조건및 디지탈온도계 온/습도 기록계 디지탈 온/습도계 온/습도 변환기

반도체 공정용 열전대로는 귀금속 열전대가 많이 사용되며 귀금속 열전대의 재료인 백금과 로듐은 둘다 고순도의 정련이 가능하고 균질한 합금의 제조가 가능하며 열전대로서 정밀정확도가 매우 높다. 백금은 공기 중 1400 ℃에서 재결정 입자가 성장하기 시작하므로 상용 한도는 1400 ℃로 규정되어 있으며 수소 중에서 사용하는 경우는 1100 ℃까지 안정하고 그 이상 온도가 높아지면 단선될 우려가 있다. 백금/로듐 합금은 미량의 탄소에도 민감하게 반응하여 쉽게 경화되어 단선이 된다. 일산화탄소나 금속 가스에는 일반적으로 취약하므로 특히 1000 ℃ 이상에서 사용하면 단선되기 쉬우므로 금속 보호관은 사용하지 않는 것이 좋다.